В Инжиниринговом химико-технологическом центре (ИХТЦ) Томского государственного университета запущено производство особо чистого бромистого водорода и тетракис(диметиламино)титана. Производство этих двух соединений позволит закрыть основные потребности в них для российских предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектроники.
"Бромистый водород применяется для очистки поверхности кремниевых пластин, служащих основной для интегральных микросхем. Ранее бромистый водород поставлялся в Россию зарубежными компаниями, но после введения санкций поставки были прекращены. За 2023-2024 годы химики ТГУ разработали отечественную технологию выпуска и очистки с использованием только российских реагентов, что обеспечивает технологическую независимость производства", - рассказал руководитель проекта Виктор Сачков.
Технология была успешно внедрена на площадке малотоннажной химии ИХТЦ. Первые партии продукта уже прошли промышленные испытания на базе отечественных предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектронных устройств и систем.
"Бромистый водород применяется для очистки поверхности кремниевых пластин, служащих основной для интегральных микросхем. Ранее бромистый водород поставлялся в Россию зарубежными компаниями, но после введения санкций поставки были прекращены. За 2023-2024 годы химики ТГУ разработали отечественную технологию выпуска и очистки с использованием только российских реагентов, что обеспечивает технологическую независимость производства", - рассказал руководитель проекта Виктор Сачков.
Технология была успешно внедрена на площадке малотоннажной химии ИХТЦ. Первые партии продукта уже прошли промышленные испытания на базе отечественных предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектронных устройств и систем.
Читать материал полностью: В Томске запустили производство двух компонентов для российской микроэлектроники, ТАСС, 17.02.2025
Источник фото: Пресс-служба Томского государственного университета
Источник фото: Пресс-служба Томского государственного университета