В Севастополе разработали СВЧ-микросхему для систем с АФАР
Специалисты Инжинирингового центра изделий микро-и наноэлектроники СевГУ разработали сложно-функциональную монолитную интегральную схему (СФ МИС) для применения в отечественных СВЧ-приемниках и передатчиках с активными фазированными антенными решетками (АФАР). Разработка реализована с использованием кремний-германиевой БиКМОП технологии 180 нм.
За счет применения SiGe БиКМОП технологии производства СВЧ МИС являются более совершенным, чем используемые для приёмо-передающих модулей АФАР арсенид-галлиевые технологии, что позволяет получать существенно более высокий процент выхода годных микросхем. Высокая интеграция элементов микросхемы в кремнии позволяет более эффективно решить задачу снижения энергопотребления и охлаждения МИС, а также агрегатирования аналоговых СВЧ и цифровых блоков МИС, что позволяет уменьшить площадь кристалла. Линейные размеры топологии кристалла разработанной микросхемы составили 2,5×2,4 мм (площадь кристалла — 6 мм2), что существенно меньше площади кристаллов СФ МИС аналогов, изготовленных на основе арсенид-галлиевых технологий. Всё это сказывается на конечной стоимости системы с АФАР в сторону её снижения, что позволит вывести подобные системы на массовый рынок, расширить спектр их применения в гражданской сфере.
Инжиниринговым центром СевГУ с помощью индустриального партнера уже изготовлена опытная партия кристаллов СВЧ МИС. Проведенные зондовые измерения в целом подтверждают параметры микросхемы, значения которых позволили достичь лучших характеристик среди данного класса микросхем.